“等一下。表面活化……等离子体轰击……”
“我们在江钢的工业之心项目里,是不是改造过一批等离子体清洗机?用来清洗汽车钢板表面的?”
“是。”
孙大炮通过视频连线回答,“那是用来除油的,粗糙得很。”
“原理是一样的!”
林远眼中闪过一丝疯狂。
“把那台清洗机拉过来!”
“我们要对其进行魔改!”
三天后,东海县工厂。
一台被拆得面目全非的工业清洗机,摆在无尘室里。
它的喷头被换成了高精度的离子源,真空泵被换成了分子泵。
“这是土法炼钢啊……”
严教授看着这台“怪兽”
,直摇头。
“不管黑猫白猫,能抓老鼠就是好猫。”
林远站在控制台前。
“第一次键合实验,开始!”
机械臂夹着一片硅晶圆和一片刚剥离下来的铌酸锂薄膜,送入真空腔。
等离子体辉光亮起。
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“轰击时间:30秒。”
“贴合压力:500牛顿。”
“出舱!”
两片材料被紧紧压在一起,送了出来。
李振声戴着手套,小心翼翼地拿起来,放在显微镜下。
所有人都屏住了呼吸。
“怎么样?”
林远问。
李振声沉默了很久。
然后,他抬起头,脸上露出了难以置信的表情。
“结合力……完美。”
“界面无气泡,无裂纹。”
“我们……成功了?”
“不。”
李振声指着边缘,“还有一个问题。”
“虽然贴上了,但是……不平。”
“我们的土炮清洗机,等离子体分布不均匀。导致薄膜表面出现了纳米级的波浪纹。”
“这种波浪纹,会导致光信号在传输时发生严重的散射损耗。”
“如果不磨平,这块晶圆,依然是废品。”
这就好比你铺好了地板,但地板是波浪形的,车根本开不快。
“抛光?”
王海冰问,“我们没有化学机械抛光设备。那也是被禁运的。”
死循环。
解决了一个问题,又冒出一个新问题。
这就是基础工业薄弱带来的连锁反应。你缺的不仅仅是一台机器,而是整个产业链。
林远看着那块波浪形的晶圆。
他知道,常规手段已经用尽了。
必须用非常规手段。