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第467章 给星河装上眼睛（第5页）

吕辰看向众人。

“有时候你看到芯片上有个颗粒，不知道是什么。是硅？是铝？是灰尘？是光刻胶没洗干净？用眼睛看不出来。”

“有了能谱仪，一打就知道。哦，这个是铁，可能是设备磨下来的；这个是钠，可能是手摸过的；这个是碳，可能是光刻胶残留。”

他顿了顿：“知道是什么，就知道从哪儿来的。铁，查设备有没有磨损；钠，查操作规不规范；碳，查清洗干不干净。这叫溯源。”

白板上，他写下第五行字：电压衬度。

“文教授，电镜能不能在通电的情况下看？”

他问。

文昭南愣了一下：“理论上可以。但得有特殊的样品座，把电压引进来。我们没试过。”

吕辰说，“电镜不只能看形貌。如果给芯片通上电，再看，有些地方亮，有些地方暗。为什么？因为电压不同，二次电子的产率就不同。”

他在白板上画了一个简单的电路图。

“如果一条线该亮的地方不亮，说明这条线断了，电压没传过来。如果两条线该暗的地方亮了，说明它们短路了，不该连的连上了。”

他转过身。

“这种方法，对于定位‘开路’和‘短路’非常直观。尤其是多层金属互联的芯片，有时候从上面看是好的，但从电压衬度一看，底下那层根本没通。”

吕辰讲完，最后又道：“这些思路，是我个人的想法，但真要用起来，还得各位慢慢摸索。”

他顿了顿：“陈厂长，我刚才说的这些，大部分是给芯片检测的。但电镜还能干别的，给材料体检。”

他又拿起一块芯片：“材料好不好，不能只看配方，要看做出来之后长什么样。陶瓷烧结有没有气孔？硅片表面有没有划痕？光刻胶涂得匀不匀？这些都要用电镜看。”

他看向文昭南：“文教授，真空所研究薄膜，薄膜致密不致的密，有没有针孔，能不能用电镜看？”

文昭南点头：“能。断面上看得最清楚。”

“那就对了。”

吕辰说，“咱们上海试剂总厂送来的光刻胶，涂出来到底匀不匀？咱们半导体所拉出来的硅单晶，表面到底有没有位错？咱们自己烧的陶瓷，致密度到底够不够？这些，都能用电镜看。”

他走回白板前，在那些字下面又加了一行：材料体检。

“电镜不只是给芯片‘验尸’的，也是给材料‘体检’的。从源头开始，就把问料掐死。”

车间里又安静了一会儿。

陈光远道：“小吕，你再讲讲，咱们接下来，应该怎么用这双眼睛？”

吕辰沉默了几秒。

他走到白板前，拿起笔，又写了几行字。