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第467章 给星河装上眼睛（第6页）

工艺监控：每一批片子，抽测关键尺寸，监控工艺漂移。

失效分析：每一个故障芯片，送电镜验尸，分类缺陷，溯源改进。

材料体检：每一种新材料，上电镜看形貌，看断面，看成分，把问题掐死在源头。

技术预研：为2微米、1微米、亚微米做准备，建立测量方法，积累数据。

他放下笔，看着那几行字。

“咱们现在，有了电镜，但不能光看着，要看出门道来。”

“什么叫看出门道？比如说，今天量了一条线，4。9微米。明天量一条，5。1微米。后天量一条，4。8微米。这叫什么？这叫数据。”

“有了数据，就能画图。横轴是时间，纵轴是线宽。点上去，连起来，就能看见——哦，这个月线宽偏小，可能是光刻机需要校准了；那个星期线宽偏大，可能是刻蚀机参数漂了。”

他顿了顿：“这叫统计过程控制。不是等出了问题再改，是看见要出问题了，提前改。”

他又指着“失效分析”

那行。

“今天看一个击穿点，是栅氧化层薄了。明天看一个短路点，是刻蚀残留。后天看一个开路点，是金属层断裂。每一个故障，都是一条线索。把线索串起来，就能看见——哦，我们的工艺，薄弱环节在哪儿。”

“看见了薄弱环节，就能集中攻关。攻关完了，再用电镜看，改好了没有？还有没有别的问题？”

他指着“材料体检”

那行。

“上海试剂总厂送来的新光刻胶，涂出来匀不匀？半导体所拉的新硅片，表面有没有划痕？咱们自己烧的陶瓷，致密度够不够？这些，都要用电镜看。”

“看完了，告诉人家，匀，可以用；不匀，哪儿不匀，怎么改。这叫反馈。上游知道怎么改，下游就能用上更好的材料。”

最后，他指着“技术预研”

那行。

“咱们现在做5微米。接下来，要做2微米。2微米是什么概念？线宽是现在的五分之二。那些现在看不见的缺陷，到时候就能看见了。那些现在能容忍的误差，到时候就不能容忍了。”

“所以，现在就要开始练。用这台3oo埃的电镜，练怎么看2微米的细节。练怎么量，怎么分类，怎么溯源。等2微米真正上马的时候，我们的眼睛，已经准备好了。”

吕辰讲完，最后道：“这是我个人的一浅见，具体的操作，还是要大家以后慢慢摸索总结。”

陈光远笑道：“小吕谦虚了，你讲得很好，你今天讲的这些，够我们消化一阵子了。”

他看着那台电镜：“这东西，花了大价钱，费了大力气，从设计到制造，两年多。这就是咱们的眼睛。从今天起，咱们就是睁着眼睛干活了。”

车间里响起热烈的掌声。

然后，大家开始凑到电镜前面研究了起来。

文昭南和李总工开始讲解那些旋钮的作用，那些开关的用法。

陈光远站在一旁，看着这一幕，嘴角带着一丝笑意。

星河计划，从今天起，真的有眼睛了。