笔趣阁

第459章 找原因（第4页）

诸葛彪懂了：“你是说，那两条线的间距，在理论上是够的，但实际工艺有偏差。只要稍微有点过刻蚀，就会连上？”

“对。”

吕辰说，“这是版图的问题，不是工艺的问题。”

钱兰在笔记本上记下来：“建议检查寄存器堆区域的版图，看看有没有间距刚好卡在设计规则下限的地方。”

吕辰点点头。

短路的问题，暂时查到这里。

接下来，是击穿。

击穿比短路更可怕。

因为它意味着材料本身被破坏了。

电流太大，电压太高，把芯片内部的晶体管烧坏了。

就像雷劈过一样，留下一个焦黑的坑。

“这个难查。”

诸葛彪说，“击穿点在芯片内部，用显微镜看不见。”

吕辰想了想：“那就剥开来看看。”

“剥开？”

“破坏性物理分析。”

吕辰说，“用烟硝酸煮开封装，把芯片露出来。然后用层剥法，一层一层腐蚀掉钝化层、金属层。每剥一层，就用显微镜看一次。”

钱兰吸了一口冷气：“那不是把芯片毁了？”

“反正已经击穿了，留着也没用。”

吕辰说，“与其扔掉，不如看看里面到底生了什么。”

诸葛彪点点头：“有道理。找到那个击穿点，就能知道是工艺问题还是设计问题。”

他顿了顿，又说：“但咱们这儿没有烟硝酸，也没有层剥的设备。要做这个，得去真空所。”

“对。”

吕辰点头，“正好利用他们的扫描电镜验证机，虽然分辨率还不够高，但看击穿点应该够了。而且他们有化学腐蚀的设备，专门做材料分析的。”

说做就做，三人把芯片装回箱子。

一路顶风冒雪，两个小时后，来到了真空所。

报过门卫登记，顾赟把三人带到电镜实验室，文昭南教授听说三人的来意，立即让刘建军和李敏华开始准备。

不一会儿，刘建军端着一个棕色的玻璃瓶过来，烟硝酸就装在瓶里，瓶口冒着淡淡的黄烟。

李敏华戴上橡胶手套，按照吕辰的要求，把一块击穿的芯片放进一个特制的烧杯里，倒上烟硝酸。

烧杯下面点着酒精灯，加热。

硝酸沸腾起来，冒着黄色的烟雾，刺鼻的气味弥漫在整个房间里。

十几分钟后，黑色的环氧树脂封装开始软化，脱落，露出里面银灰色的晶圆。

她用镊子把晶圆夹出来，放在电镜的物镜台下。