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第459章 找原因（第5页）

文昭南教授亲自操作，电子枪启动，一番调试后。

“成了！”

吕辰三人凑过去观看。

“有坑。”

显微镜下，晶圆表面确实有一个微小的熔坑，像被雷劈过的小坑，周围还有一圈烧焦的痕迹。

“坐标。”

钱兰掏出一张版图。

诸葛彪用刻度尺，读出熔坑的坐标。

钱兰在版图上找到那个位置。

“是晶体管的栅氧化层。”

她说。

三个人对视一眼。

又是集中在同一个区域。

李敏华又煮了几块击穿的芯片。

结果都一样，熔坑都在栅氧化层上，位置略有差异，但都在晶体管区域。

“不是测试问题。”

他说，“如果是静电打坏的，熔坑应该随机分布，不会都集中在栅氧化层。”

钱兰点点头：“也不是工艺问题？如果是工艺问题，那应该是随机缺陷，不会每一块都打在栅氧化层上。”

吕辰想了想：“那就是设计问题。那个区域的晶体管，尺寸太小了。”

他指着版图上的某个位置：“你看，这里的晶体管，栅长和栅宽都是设计规则允许的最小值。如果工艺有波动，实际做出来的晶体管比设计的还小，电场强度就会增大，过材料的击穿阈值。”

诸葛彪点点头：“有道理。栅氧化层就那么薄，电压一高，就打穿了。”

“得改版图。”

钱兰在笔记本上记下来，“加大晶体管的尺寸，留出足够的余量。”

吕辰看着那几块煮开的芯片，心里有些沉重。

击穿，意味着材料被破坏，意味着那几万伏的电压，在晶圆上留下了永远无法愈合的伤口。

但至少，找到了原因。

谢过文教授，拒绝了顾赟的吃饭邀请，三人一路风风火火的又回到红星轧钢厂。

到食堂找到何雨柱，下了三碗热汤面，匆匆吃完，又来到验证室。

下一个，延迟。

三个人来到验证台前。

那五块能用的芯片，还插在插座上。

诸葛彪接上示波器，把探头点到某个输出脚上。

屏幕上，波形稳定地跳动着。

频率，比设计值低了百分之十五。

“延迟。”

他说，“所有五块都有这个问题。”