这回是陈光远,他穿着和工人一样的藏蓝色工装,脸上沾着灰尘,但眼睛亮得惊人。
“您也在?”
吕辰快步走过去。
“洁净区的格栅地板今天开始安装,”
陈光远指向厂房内部,“我得盯着点。”
两人一起走进厂房。
内部空间依然空旷,但已经能看出未来洁净车间的雏形。
那个“玻璃鱼缸”
的骨架已经全部完成。
框架顶部,数百个风机过滤单元整齐排列,像一片银灰色的方格天花板。
虽然还没通电运行,但那种精密、秩序、肃穆的氛围已经扑面而来。
地面上,工人们正在铺设格栅地板。
这是一种特制的铝合金格栅,表面经过导电阳极化处理,网格大小经过精心计算,既要保证足够的刚度支撑人员和设备,又要确保下方回风畅通。
“水平度检查了吗?”
陈光远问现场负责的建筑师。
“查了,每平米误差不过o。5毫米。”
建筑师指着地上的激光水准仪,“我们铺一块,测一块,不合格当场调整。”
陈光远蹲下身,用手摸了摸格栅表面。
触感平滑微凉,网格边缘处理得圆润,不会有刮伤手套或产生微粒的风险。
“好。”
他站起身,“记住,这里将来是c1ass1oo环境,一粒灰尘都可能毁掉一批芯片。每一个细节,都不能将就。”
“明白!”
吕辰和陈光远继续往里走。
在洁净区的核心位置,已经浇筑好了几个特别加固的设备基座。
其中一个基座旁立着牌子,上面写着“gk-2o1cgs”
,那是未来光刻机的位置。
基座表面打磨得光滑如镜,吕辰甚至能看见自己和陈光远的倒影。
“梁先生昨天来复测过。”
陈光远说,“水平度±o。o3毫米,振动等级Vc-a。”
“光刻机什么时候到?”
吕辰问。
“长光所那边来消息,总装已经完成,正在做最后的联调测试。”
陈光远看了看手表,“如果顺利,十二月中旬可以拆解运输,年底前能运抵北京。”
“那来得及吗?”
“看安装进度。”
陈光远望向四周,“洁净区必须在十二月底前完成最终封闭和验收,空调系统要联调稳定,电力、气体、纯水都要就位。然后光刻机开箱、就位、调平、对接……每一步都不能出错。”