陈光远的语气平静,但吕辰听出了其中的压力。
光刻机是整个芯片制造的核心,也是最脆弱、最精密的设备。
从长春到北京,一千多公里路程,任何颠簸、温湿度变化都可能影响精度。
开箱必须在洁净环境中进行,安装必须在恒温恒湿条件下,调平必须达到微米级……
“我们只有一次机会。”
陈光远轻声说,“如果安装失败,或者精度不达标,没有备用的机器,也没有时间重来。”
63o5厂的建设,就像在走钢丝。
下面没有安全网,也没有回头路。
两人沉默了一会儿,看着工人们在格栅地板上忙碌。
铝合金格栅一块块铺开,逐渐连成一片,在厂房顶灯的照射下,泛着冷冽的金属光泽。
那将是中国第一片真正意义上的芯片制造洁净区。
在那里,将诞生这个国家自主设计、自主制造的第一枚集成电路。
建设如火如荼地进行着。
一天又一天,厂房里的景象每天都在变化。
格栅地板铺设完毕,墙面和天花板开始安装彩钢板,空调管道接通,照明系统点亮……
十一月底,洁净区完成最终封闭。
那天下午,所有参与建设的工人、技术员、工程师,全都聚集在1号厂房门口。
梁先生、宋颜教授、陈光远副厂长、吕辰站在最前面,丘岩书记和李怀德厂长也从指挥部赶了过来。
“开始吧。”
梁先生说。
控制室里的技术员按下按钮。
厂房内,数百个风机过滤单元同时启动。
低沉的嗡鸣声透过墙壁传来,那是高效过滤器的风机在运转,将外部空气吸入、过滤、然后像瀑布一样垂直向下吹送。
十分钟后,厂房侧门打开,两名穿着全套防尘服、戴着口罩和护目镜的检测人员走了进去。
他们手里拿着尘埃粒子计数器,开始在不同位置采样。
所有人屏住呼吸。
时间一分一秒过去,厂房里安静得能听见自己的心跳。
二十分钟后,检测人员走出来,摘下口罩,脸上带着难以置信的表情。
“梁先生……”
领头的那人声音有些颤抖,“中心区域……尘埃计数……达到c1ass1o4。”
“什么?”
梁先生还没说话,宋颜教授就一把抓过检测报告。
白纸黑字,清清楚楚。
在洁净区中心位置,每立方英尺空气中,大于等于o。5微米的尘埃粒子数为1o4个。
c1ass1oo的标准是1oo个,他们做到了c1ass1o4。
“再测一遍!”
梁先生点头道。
检测人员又测了九个点,包括角落、门口、设备基座旁等容易积尘的位置。
结果依然令人震撼:最差的点位是168个,最好的点位只有71个。
平均值:c1ass96。