“4。硬件支持:”
林远盯着温彼得,“这是最关键的。我需要ASML承诺,优先保障启明联盟成员企业如中芯、华虹的DUV光刻机零部件供应和维护服务。并且,在合规范围内,向我们出售最高配置的浸没式DUV光刻机(NXT:2050i)。”
温彼得沉思了片刻。
这是一笔划算的买卖。ASML不需要付出任何核心硬件技术,仅仅是开放了一些软件接口和光学参数,就能获得一套世界领先的AI光刻系统,还能稳住中国这个最大的客户。
“成交。”
温彼得伸出手。
“不过,林先生,我要提醒你。”
温彼得压低了声音,“就算有了这套软件,有了DUV。要做7nm,你们还缺一样东西。”
“什么?”
“光刻胶。”
“做多重曝光,对光刻胶的稳定性要求极高。目前,全球能生产ArF浸没式光刻胶的企业,只有日本的JSR、东京应化和信越化学。”
“而这些公司……”
温彼得意味深长地看了一眼林远,“都在东和财团的控制之下。”
林远的瞳孔微微收缩。
又是东和财团。
又是那个女人。
只要是在半导体这个圈子里,似乎永远绕不开她编织的那张大网。
“谢谢提醒。”
林远面色不变,“光刻胶的问题,我会解决。”
第四现场:国产化的最后一公里。
离开ASML总部,林远在车上立刻召开了视频会议。
参会者:刘华美(科创基金)、王海冰(CTO)、以及那位刚刚被投资的国内光刻胶初创公司墨子材料的创始人,赵博士。
“赵博士,”
林远看着屏幕,“我刚从荷兰拿到光。现在,我需要光刻胶。”
“日本人在卡我们的脖子。ArF浸没式光刻胶,国内的进度到底怎么样?”
赵博士推了推眼镜,面露难色:“林董,我们在树脂合成上已经突破了。但是,光刻胶是一个配方学。它包含树脂、光引发剂、溶剂、添加剂等几十种成分。配比差万分之一,良率就掉一半。”
“而且,我们缺乏验证环境。光刻胶配方调出来,得上光刻机跑。但国内的晶圆厂产能宝贵,不敢让我们试错。”
“验证环境,我给你。”
林远斩钉截铁。
“我让江钢集团,拿出一台二手的尼康光刻机,专门给你们做测试。”
“同时,我给你找了个老师。”
林远看向王海冰。
“老王,联系我们在马来西亚和新加坡挖来的那些封测专家。他们很多人以前在日企工作过,懂日本人的材料体系。”
“还有,”
林远眼中闪过一丝狠厉,“启动备胎计划B方案。”
“既然买不到日本的高端胶,那我们就自己造原材料。”
“刘华美,你立刻去一趟云南和湖南。”
“干什么?”
刘华美不解。