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第467章 给星河装上眼睛（第3页）

文昭南把芯片放进烧杯里，倒上硝酸，下面点上酒精灯。

黄色的烟雾冒起来，刺鼻的气味弥漫开来。

十几分钟后，黑色的环氧树脂封装开始软化，脱落。

李总工用镊子把晶圆夹出来，在去离子水里洗了洗，然后放在一张滤纸上吸干。

那是一小块银灰色的东西，比指甲盖还小，边缘参差不齐。

李总工把它粘在样品托上，放进样品室。

抽真空，开机，调焦。

图像慢慢出现。

吕辰凑到观察窗前。

视野里，是密密麻麻的金属走线，横平竖直，整整齐齐。

但在左下角，有一个小小的黑点。

“放大那个地方。”

他说。

文昭南调节旋钮，图像放大，再放大。

黑点变成了一小片焦黑的痕迹，中间有一个微小的熔坑，周围是一圈烧焦的痕迹，像被雷劈过的伤口。

“这是击穿点。”

吕辰指着那个熔坑，“电压过来的时候，这里温度瞬间升高，把硅都烧化了。”

他顿了顿：“这种击穿，往往是栅氧化层太薄，或者有缺陷。电场强度一大，就打穿了。”

旁边有人倒吸一口气。

吕辰直起腰，看着那一圈人。

“咱们先从头讲。”

他说，“电镜能在咱们这儿干什么。我一条一条说，文教授，请您配合着演示。”

他走到一个白板前面，拿起笔，写下第一行字：关键尺寸测量。

“咱们现在的设计规则是5微米。”

他转过身，“但5微米到底做出来是多少？光刻机有误差，刻蚀有偏差，最后留在晶圆上的线宽，可能是5。2，也可能是4。8。”

他拿起另一块芯片，是没煮开的，指了指表面那些看不见的线条。

“如果只有4。8，再加上一点点毛刺，两条线就挨上了。挨上了，就是短路。”

他看着文昭南：“文教授，能不能量一下那条线的实际宽度？”

文昭南点点头，把图像移到一片金属走线密集的区域，调好焦距。

电镜上有刻度，可以手动测量。

他量了一条线，又量了旁边的间距。

“线宽，4。9微米。”

他报出数据，“间距，5。1微米。”

吕辰点点头：“看，设计是5微米，做出来是4。9。如果工艺再偏一点，就是4。8，间距就只剩4。7。两条线离得越近，越容易搭上。”