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第459章 找原因(第2页)

吕辰点点头:“先从短路开始。”

短路,是物理层的硬伤。

意味着芯片内部的金属连线,该断的地方没断,不该连的地方连上了。

电流走错了路。

三人来到验证室,把那41块短路的芯片拿出来,摆在实验台上。

一排排黑色的小方块,像41座沉默的墓碑。

吕辰拿起一块,插进测试板,用万用表测电源和地之间的电阻。

零。

他把芯片取下来,换一块,还是零。

再换,零。

一连测了1o块,全是零。

但这次,他不只是测电阻,他还把万用表的两个表笔,分别扎在芯片不同区域的电源和地引脚上。

左手边的电源和左手边的地,测一下。

右手边的电源和右手边的地,测一下。

上边的,下边的,中间的……

一块芯片,测了十几个点。

诸葛彪和钱兰在旁边看着,谁也没说话。

测完第1o块,吕辰抬起头。

“不是全片短路。”

他说,“短路只集中在几个区域。”

他在一张纸上画了一个芯片的简图,然后在左下角画了一个圈。

“这里,寄存器堆的位置。几乎所有短路的芯片,这个区域都是短路的。”

钱兰凑过去看:“寄存器堆……那是版图密度最高的地方。”

吕辰心里一动:“密度太高,工艺波动导致金属桥接?”

“有可能。”

诸葛彪说,“五微米工艺,线条宽度五微米,间距也是五微米。如果版图上某一片区域密密麻麻全是线,光刻的时候,稍微有点偏差,两条线就可能挨在一起。”

他拿起一块废品,放到显微镜下,沿着电源总线,一点一点看过去。

看得很慢,很仔细。

看了十几分钟,他直起腰,摇了摇头。

“没看到明显的毛刺或凸起。”

他说,“不是那种不该连的线被连上了。”

钱兰皱起眉头:“那是什么问题?”

吕辰想了想:“形态都一样?”

诸葛彪愣了一下:“什么意思?”

“我是说,这四十一块短路的芯片,短路的形态是不是都一样?”

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