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第413章 启动产线建设（第3页）

“第三，特种气体。硅烷、磷烷、砷烷，这些气体易燃易爆有毒，储存、输送、尾气处理，安全要求极高。一旦泄漏，后果不堪设想。”

“第四，纯水。18。2兆欧·厘米的电阻率，听起来是个数字，但要持续稳定地达到这个标准，需要整个系统——从反渗透、离子交换、紫外线杀菌到终端过滤——每一个环节都完美无缺。”

“第五，接口标准化。我们这次的设备，有国产的，有进口的，有各单位自研的。电源接口、气路接口、水路接口、控制信号接口，标准不一。现在不统一，安装时就会打架。”

……

吕辰一直就了两个小时，才放下粉笔。

会议室里沉默了几秒。

“问题都摆出来了。”

刘星海开口，“下面，讨论解决方案。”

接下来的三个小时，会议进入了实质性讨论。

先成立了“现场联合指挥部”

，由陈光远、丘岩、李怀德的代表共同组成，常驻工地，实现问题“小时级”

响应。

建立了“工艺-基建-设备”

三方每日对接会制度，要求设计方、施工方、设备方、工艺专家每天下午五点开会，解决当天出现的问题。

细化了“专家组-施工队”

结对子方案。

为每个关键设备或系统指定一名专家或骨干，与安装队“同吃同住同劳动”

，负责技术交底和质量确认。

确定了“边安装、边培训”

模式。

设备开箱、安装、接线过程，就是63o5厂未来操作员和维护工程师的“第一课”

。

种子队员必须全程跟随，记录每一个细节，编写本土化的《设备安装日志》和《初步操作要点》。

“中试线的数据要充分利用。”

宋颜教授提出，“我们攻坚八个月，记录了三百多起异常事件，形成了《故障树分析报告》和《工艺窗口数据》。这些是用真金白银和汗水换来的经验，必须作为本次安装调试的重要参考。”

谢凯接话：“我们已经将中试线数据整理成《安装调试风险预警清单》，共列出常见问题五十七项。如设备地基水平度在夏季和冬季的差异、冷却水温波动对光刻对准的影响……，这些都会提前预警，并在安装调试时重点监控。”

接着，会议进入供应链和应急预案讨论。

关键耗材与备件清单被最终锁定。

光刻胶、高纯气体、靶材、化学试剂……哪些可以国产替代，哪些必须进口，库存水平如何，替代方案是否可靠，逐一过审。

“光刻胶是个大问题。”

上海感光厂的朱总工眉头紧锁，“我们和感光化学所联合攻关，目前只能做到五微米级的分辨率，而且批次稳定性不好。如果进口胶被卡住……”

“两条腿走路。”

刘星海教授拍板，“一方面，继续攻关国产胶，不惜成本提高质量。另一方面，启动特殊采购，秘密储备一年的进口胶用量。这件事，李厂长负责。”