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第413章 启动产线建设（第2页）

吕辰站起身，走到会议室前方的黑板旁。

黑板上已经贴满了图纸和表格。

他拿起粉笔，开始讲解。

“各位领导，各位专家。根据中试线的经验和各协作单位提供的技术资料，我们制定了63o5厂产线安装调试的总纲领。核心原则是八个字：洁净优先，动力先行。”

他在黑板上写下这八个字。

“洁净优先，指的是净车间的建设必须放在第一位。”

吕辰指着洁净区的图纸，“1号厂房的洁净岛，必须在十月底前完成最终封闭和验收。包括：所有风机过滤单元安装完毕、高效过滤器完成检漏测试、格栅地板安装到位、所有接口密封完成。”

“为什么这么急？”

有人问。

“因为洁净环境是所有精密设备入驻的前提。”

吕辰解释，“光刻机、涂胶显影机、电子束曝光机……这些设备一旦开箱，就必须进入洁净环境。如果洁净车间没准备好，设备只能待在包装箱里，时间长了，会受潮、积尘，甚至精密部件会因温度湿度变化而失效。”

众人点头。

“动力先行，指的是纯净微电网、纯水系统、特种气体供应系统，必须在设备安装前完成联调和稳定运行。”

吕辰继续道，“设备就位后，第一件事就是接电、接水、接气。如果这些动力系统没准备好，设备就是一堆废铁。”

他在黑板上画出一个时间轴。

“根据这个原则，我们制定了详细的安装顺序。”

吕辰指着时间轴上的节点，“第一阶段，明年一月底前，完成洁净车间封闭和动力系统联调。第二阶段，一月初到二月底，完成所有大型工艺设备的运输、开箱、就位和初步调平。第三阶段，明年三月至五月，完成所有设备的精调、接线、管道对接和单机调试。第四阶段，明年六月至八月，进行全流程联调演练和次工艺贯通。”

“时间很紧。”

陈光远插话。

“是的，很紧。”

吕辰坦然承认，“但我们没有退路。63o5厂必须在明年八月底前，具备小批量试生产能力。这是向国庆十五周年献礼的政治任务。”

会议室里响起低声的议论。

“下面，我列出影响整体进度的‘卡脖子’环节。”

吕辰换了支红粉笔，在黑板上写下十几个关键词：

光刻机的总装

扫描电子显微镜交付

特种气体安全系统

纯水系统在线监测

工艺设备接口标准化

……

他逐一解释：

“第一，光刻机。长光所专门为63o5厂设计的光刻机，其制造分散在全国多个保密单位。现在，所有零件和分系统正向长春集结，完成次技术总装，验证接口和基本功能后，再拆解为双工件台系统、投影物镜系统、照明与对准系统等核心模块，运抵63o5厂。该机总重十二吨，每个模块都配有经过计算的专用减震运输箱。运输、开箱、就位、模块间精密度对接，每一个环节都不能出错。”

“第二，扫描电镜。真空所和北大等协作组正在攻关的原型机，原定十月底交付，但目前进度滞后。没有电镜，我们无法观测芯片的微观结构，等于瞎子做手术。”