哈工大的包康建教授,正带着人用水平仪和自制的准直望远镜,反复调整一个混凝土基础块的水平。
“包教授,微振动测试怎么样了?”
包康建直起腰,揉了揉后颈。
“独立基础浇筑得很扎实,我们用的钢丝绳隔振器初步测试,能滤掉大部分来自地面的中高频振动。”
他指着窗外隐约可见的铁轨,“但是,火车经过时的低频振动,尤其是那种‘轰隆隆’的次声波,隔振器效果有限。而光刻对准,最怕的就是这个。”
“有什么办法?”
“加质量。”
包康建言简意赅,“给光刻机自身再加一个高质量的平台,最好是花岗岩的,质量越大,惯性越大,越难被低频振动带动。但问题是……上哪找那么大、那么平的花岗岩?而且怎么运进来,怎么安装?”
又是材料,又是加工。
吕辰也感觉太阳穴在跳,他知道,这只是开始。
洁净、振动、水电风气……,七只老虎,环环相扣,一只比一只凶猛。
“包教授,花岗岩我来想办法。”
吕辰深吸一口气,“您先按照最理想的方案设计平台结构和隔振系统。材料问题,我们一起攻克。”
就在这时,上海医工院沈工程师,一脸铁青地快步走来。
“小吕,出问题了。”
“怎么了?”
“离子交换柱,南开大学提供的核子级树脂,才运行两周,脱盐效率就急剧下降。我们拆开检查,现树脂颜色黑,床层板结。”
沈工的声音带着压抑的怒火和心疼,“那树脂,比金沙还贵!”
“原因?”
“初步判断,是再生用的电子级酸碱纯度不够,或者再生过程中引入了污染。但上海试剂总厂拍胸脯保证他们的产品是最高级别。”
沈工眉头拧成疙瘩,“也可能是我们的再生操作流程有问题,或者……管道有我们没检测到的微量渗漏。”
吕辰的心沉了一下。
纯水是芯片的“血液”
,血液被污染,一切归零。
“彻底排查。”
吕辰斩钉截铁,“从试剂来源、储存容器、再生步骤、管道焊缝,一寸一寸地查。沈工,我们得成立一个事故分析小组,记录每一个细节,分析每一种可能。这次事故的教训,要比那点树脂珍贵得多!”
沈工重重地点了点头,转身快步离去,背影有些佝偻。
大家都知道他压力有多大。
傍晚,天色擦黑。
车间里依然灯火通明,各种敲打、焊接、调试的声音交织在一起。
吕辰回到办公室,桌上摊开着《中试线标准操作规程(草案)》的草稿。
他拿起笔,想在“纯水系统再生操作”
章节加上更严格的步骤确认和双人复核要求,却觉得笔有千斤重。
真正的挑战,不是写下这些条文,而是让每一个人,从老师傅到新学徒,从大学教授到青年技工,都从心底里接受这些条文,并一丝不苟地执行。
这比造出合格的多孔陶瓷,比找到平整的花岗岩,甚至比提纯电子级试剂,都要难。
因为这是在改造一种习惯,一种文化,一种沿袭了多年、依赖于个人经验和手感的工业传统。
窗外,北风呼啸,卷起地上的雪末。
中试线的战斗,刚刚打响。