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第283章 夜宿新肇（第2页）

他拿出另一份清单：“还可以开发一套光刻工艺工具箱。不是实物工具箱，而是一套文件和技术规范。比如，一个常用图形库，每类图形都附带经过验证的、针对我们当前这套五微米工艺的推荐曝光参数范围。再比如，一份典型缺陷图谱及可能原因分析指南。让新来的工程师，不是从头摸索，而是站在一个基础平台上工作。”

上海机床厂的刘工立刻表示共鸣：“这个好！我们机床行业也在尝试搞部件标准化。如果光刻机的核心部件能有相对统一的接口和性能标准，我们加工起来目标更明确，也便于批量制备备件，不至于一台机器一个样，维护起来要命。”

激烈的思想碰撞持续了两天。

会议室的烟灰缸满了又清，清了又满；稿纸写满了一张又一张；暖水瓶来回打了好几次。

最终，所有的讨论、争执、建议和共识，都凝结成了一份沉甸甸的《“星河计划”

光刻及关联技术关键问题与需求清单》。

这份清单不再是泛泛而谈，而是分门别类，清晰地列出了：

光学系统：特定规格的定心磨边机需求、高精度干涉仪需求、像差在线检测方案设想……

精密机械：超平花岗岩平台加工精度指标、新型减振材料试验需求、工作台寿命测试方法与标准草案……

工艺材料：光刻胶性能标准化指标建议、涂胶显影设备原理样机设计需求、工艺窗口实验设计……

控制与检测：多路同步数据采集系统方案、快速线宽测量装置技术指标、缺陷自动识别算法预研方向……

系统与标准：“光刻模块接口标准”

草案编制任务、“工艺工具箱”

内容框架与分工……

前沿与模拟：光刻过程简化数学模型研究课题、流体热力学模拟实验方案与设备需求……

每一个条目后面，都初步标注了负责或牵头单位、建议解决路径、以及期望的时间节点。

这份清单，将由宋颜教授带回北京，提交给“星河计划”

领导小组，成为协调全国力量、下发攻关任务的直接依据。

临别前夜，陈光远在所里小食堂安排了一顿简单的送行饭。

依旧是朴素的饭菜，但气氛格外热烈。

大家以茶代酒，互道珍重。

“宋教授，小吕，小谢，你们这一趟，给我们带来了很多新想法啊。”

陈光远感慨道，“不光是技术上的，更是一种做事的方法和思路。先瞄准能打到的目标，用数据说话，用系统思维解决问题，还要看得更远……这些，比单纯解决几个技术难题更重要。”

宋颜教授郑重道：“陈所长言重了。长光所的务实作风和攻坚精神，才是我们学习的榜样。这份清单是大家共同智慧的结晶，我们一定带回去，全力推动。明年四月，等着你们的好消息！”

“一定！”

长光所的同志们异口同声，眼中充满了坚定的期待。

正说着道别的话，吕辰忽然开口：“宋教授，谢师兄，这两天我们反复讨论光刻机的振动、温漂和稳定性问题，其实都是设备‘健康状态’的监测与控制。这让我想到了咱们的‘电子耳朵’。”

他转向陈光远，解释道：“陈所长，我们研发了一套基于振动和声音的故障早期预警系统，对旋转机械特别有效。刚才听周工说油田的设备故障率高，维护全靠老师傅的经验……”

陈光远眼睛一亮：“我明白你的意思了！你们想去大庆看看？那边的钻机、柴油机、抽油机，全是铁疙瘩，坏了就影响产量。你们那‘电子耳朵’我知道，的确能派上用场，能解决大问题！”

宋颜教授沉吟片刻，看了眼吕辰和谢凯眼中跃跃欲试的光芒，点了点头：“也好。我们搞科研，最终就是要服务于国家工业。去亲眼看看国民经济一线最迫切的需求，对我们把握研发方向有百利而无一害。只是……时间要卡紧，不能耽误哈工大的正事。”

谢凯也点头支持：“是的，宋教授。我们的技术不能只待在实验室和轧钢厂。油田的环境更恶劣，需求更直接，是检验和提升电子耳朵的绝佳试金石。说不定，那里发现的问题，能反向推动我们传感器和算法的改进。”

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陈光远立刻道：“宋教授，我倒是有个办法，我给你们派一台车，从长春直接北上，经肇源进大庆，然后折向哈尔滨。虽然路难走点，但能深入油田腹地，看看真实工况。我估算，多花两天时间，但收获的价值可能远超这两天。”

想了想又道：“我让所里给大庆油田办个电话，就说北京来的技术专家，有一项可能对油田设备维护有革命性意义的新技术，想去做个短期调研交流。他们肯定欢迎！”

于是，行程就此改变。

第二天清晨，吉普车驶离长光所，迎着初冬的寒风，向北驶向辽阔的松嫩平原，驶向那片正被石油工人唤醒的黑色沃土。

汽车在东北平原上疾驰，窗外的景色变成了辽阔的、覆着薄雪的黑土地，一望无际。

偶尔路过的村庄，屋顶上积着雪，烟囱冒着笔直的炊烟。