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第240章 故障 扫描 样机（第1页）

楚千澜接过曲峰递来的手机，屏幕上“沈国梁”

三个字格外醒目：“沈院士，您好。”

听筒里传来沈国梁略带兴奋的声音：“楚总，听说你们从海外引进了一台193nm深紫外光刻机？这可是国内稀缺设备，我能不能去贵司参观学习？”

楚千澜心中了然，沈院士消息如此灵通，想必是政府部门在协调清关时走漏了风声。

他没有直接拒绝，而是笑着回应：“院士有兴趣，我们自然欢迎。不过设备刚到厂，正处于安装调试阶段，洁净室管控严格，您若想来，不如等半个月后，等我们完成设备的初步安装。”

沈国梁当即应允：“好！我等你们的消息。对了楚总，这台光刻机后续是用于18onm制程研吧？星象指令集若能搭配实际产线验证，对国内半导体产业可是大好事。”

楚千澜顺势接话：“确实计划主攻18onm制程，后续还望院士多提指导意见。”

挂了电话，曲峰眉头微蹙：“沈院士突然关注，会不会给我们的技术保密带来风险？”

“风险不大。”

楚千澜摇头，“沈院士毕生致力于半导体国产化，不会泄露核心信息。而且他能主动联系，反而说明官方对我们的布局越来越重视，后续申请政策支持也会更顺利。

而且，有沈院士的帮助，说不定我们以后可以将光刻机升级，达到更先进的制程！”

他拥有科技图使馆，自然知道193nm深紫外光光源，是能够支撑5nm制程芯片的。

不过，这些技术即便楚千澜能够掌握，也需要专业技术人员实现，这一块，深蓝半导体还是非常欠缺的。

就在此时，王世杰忽然开口：“楚总，光刻机配套的离子注入机有两台出现轻微故障，张北光团队正在排查，可能会耽误几天安装进度。”

“优先保证设备完好，进度可以适当调整。”

楚千澜语气笃定，“18onm产线是深蓝半导体的根基，不能为了赶时间留下隐患。

另外，让张北光团队寻找故障原因，若是无法维修，就在女娲系统的监控下，拆机研究内部构造。”

王世杰闻言一愣，作为楚千澜旗下一个公司的负责人，他自然知道女娲的存在。

只是他一直负责光刻机产线前期的建设，很少使用女娲系统，更不知道女娲系统的功能如何强大！

王世杰眼中闪过一丝了然，知道楚总这是打算借着维修的机会，研究离子注入机的内部构造，为后续自主研打下基础。

“明白！我这就去跟张工说，让他们重点记录拆解过程，每一个部件的参数和连接方式都要详细存档。在这个过程中，张工应该需要一个使用女娲系统的权限！”

楚千澜略做沉吟，“我下午回去后，会给他开通11级科研权限，你提醒他下班后查看邮件！”