年轻研究员忍不住问:“用什么复制?”
“光。”
林振只说了一个字。
几个人下意识抬头,看向屋顶的白炽灯。
王厂长更是满脸不解。“灯光还能加工零件?”
“普通灯光不行,经过控制的光可以。”
林振在硅片图案上方,又画了一块带有线路的模板。
“先把电路图案做成掩膜版,再在硅片表面涂上一层对光敏感的材料。光穿过掩膜版以后,图案就能留在硅片上。”
“接下来经过显影、腐蚀和掺杂,一层电路便做出来了。重复几次,就能在同一块晶片上做出晶体管和连接线路。”
粉笔划过黑板,留下一条条清楚的工艺步骤。
实验室里的人越听越安静。
王所长慢慢走到黑板前,鼻尖离图案只剩半尺。他没伸手去碰,生怕擦掉任何一道粉笔印。
国外期刊只说过集成电路的概念。
可林振刚才讲的,却是一条能往下走的工艺路线。
掩膜、感光、曝光、显影、腐蚀……
几个原本分散的技术,被他接成了一条线。
“把图案用光印到硅片上……”
王所长念了两遍,呼吸越来越重。
“对,就是印。”
林振放下粉笔,拍掉指尖的白灰,“只不过,这台印刷机不用铅字,也不用油墨。它用的是光,印的是比头还细的电路。”
“只要把这一步做成,指甲盖大小的晶片,就能顶替成百上千个晶体管。”
“到那时,三间屋子大的电子计算机,可以缩成一个柜子,再缩成一张桌子,最后缩到人的手掌里。”
王厂长看看黑板,又看看自己的手掌。“真缩到巴掌大,我亲自把车间里那几把算盘送进展览室。”
“先别急着送。”
王所长一眨不眨盯着黑板,“等我们把第一块集成电路做出来,你再送也不迟。”
这一次,他没有再说不可能。
林振重新拿起粉笔,在黑板最上方写下两个大字。
光刻。
“这就是集成电路制造的关键。”
“我们要造的第一台核心设备,也有名字。”
林振转过身,看向屋里每一个人。
“光刻机!”