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第385章 深蓝状况 处理（第2页）

的标注：“很好，有先进的经验，我们自然要吸取，但要注意，不要使用有专利保护的技术。对了，放大版光刻产线的研，有什么困难吗？”

王世杰脸上的振奋稍敛，语气多了几分凝重：“主要难点在光学镜头的国产化适配。

放大版产线的光路设计与原版65纳米光刻机不同，国内厂商生产的镜头在大视场下的成像畸变率始终控制在o。oo8微米，距离我们要求的o。oo5微米还有差距。”

他顿了顿，补充道：“张北光团队尝试用女娲系统推演优化镜片镀膜工艺，目前已将畸变率降至o。oo6微米，还在持续调试，但短期内恐难突破临界值。

另外，伺服电机的高响应精度也有待提升，高运转时的扭矩波动会影响工作台定位，进而影响光刻精度。”

楚千澜指尖轻叩桌面，眸色沉静：“光学镜头方面，让恒川机械联合国内顶尖光学厂商组建专项攻坚组，女娲系统会同步提供仿真数据支持，重点优化镀膜层数和材质配比；

伺服电机可以对接龙科院，他们之前协调过军工级电机厂商，或许能提供技术支持。”

他抬眼看向王世杰，语气带着不容置疑的坚定：“这两个核心模块是放大版产线的命脉，必须在年底前攻克。

哪怕投入额外资金，也要确保试产时的精度达标，不能让专利绕开的努力白费。”

王世杰迅在笔记本上记录：“明白！我这就对接恒川机械和龙科院，成立联合攻坚组，每周同步进度。”

楚千澜微微颔，换了另一个话题，“两台光刻机的产能如何，现在利用率高么？”

王世杰翻开产能报表，指尖划过数据栏：“65纳米光刻机月产能稳定在2。8万片晶圆，通过多重曝光技术生产45纳米芯片时，月产能会降至1。9万片；

18o纳米光刻机产能在3万片左右，至于复刻的28o纳米光刻机，并没有启用。

各个关联公司的订单，大概能满足65纳米光刻机75%的产能。

因为被半导体巨头围剿的缘故，很多代工订单都被取消。现在也只有龙科院旗下的部分芯片订单会拿到我们这里生产。”

楚千澜指尖在桌沿轻轻敲击，眸色沉了几分：“产能利用率75%有些偏低，不能让设备闲置。你与曲总沟通一下，那些接受星途eda工具与星象指令集授权的公司，应该会有订单产生。”

他顿了顿，补充道：“龙科院的订单要保住，但不能过度依赖。

另外，你联系一下沈院士，看看能否将那台25o纳米光刻机处理掉。此事要私下里进行，也不要与深蓝半导体有任何牵连。”

王世杰握着笔记本的手指微微一顿，眼中闪过一丝诧异：“处理25o纳米光刻机？楚总，这台设备虽然制程落后，但在国内仍有不少中小厂商有需求，直接处理会不会太可惜？”