这就是启明-NikonHigh-NA物镜系统。
里面层叠着12块巨大的萤石透镜和石英透镜。
每一块透镜,都漂浮在主动支撑系统上。
“激光对准。”
一束红色的引导激光射入物镜顶部。
经过12次折射,最终汇聚在底部的像面上。
“波前像差检测……”
所有人都屏住了呼吸。
这是最后的审判。
屏幕上,泽尼克多项式的系数开始跳动。
RMSWavefrontError:1。2nm。
“1。2纳米?”
山田光一惊叫,“这……这比ASML的EUV镜头还要好!”
要知道,EUV镜头的波前像差通常在2nm左右。
“因为我们用了透射式。”
李振声解释道,“EUV只能用反射式,反射式对表面精度要求是透射式的4倍。我们用193nm透射,虽然波长长,但光学设计自由度大。”
“配合我们的计算光刻……我们真的能做3纳米!”
就在所有人欢呼的时候。
林远的手机响了。
是赵孟頫打来的。
他虽然下台了,但情报网还在。
“林远,你搞出大动静了。”
“美国CIA已经知道了尼康泄密的事。”
“他们没有找日本政府,而是直接找了康宁和肖特。他们怀疑你们解决了萤石来源。现在他们正在全球范围内,搜查所有的高纯度氟化钙粉末流向。”
“而且,”
赵孟頫的声音低沉,“他们启动了破坏行动。”
“什么破坏?”
“你用的那个磁流变液,核心配方里有一种特殊的磁性粉末。”
“美国商务部刚刚把这种粉末列入了最高级别的管制清单。”
“并且,他们向你的供应商某家国内的化工企业,发送了威胁信。”
“如果你不能在24小时内解决磁流变液的国产化。”
“你的下一块镜子,就磨不出来了。”
林远挂断电话。
看着那座巨大的镜头塔。
他知道,这只是样机。
要量产,必须解决耗材。
磁流变液,这种黑乎乎的液体,成了新的拦路虎。
“去把江钢化工部的人叫来。还有,联系包头稀土研究院。”
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