“到了!”
王海冰兴奋地喊道。
“继续降!我们要2K超流氦温区!”
丁院士盯着仪表,“只有在2K,铌腔的品质因子Q值才能达到10的10次方,损耗才能最小。”
3。5K……3。0K……
突然,曲线停住了。
“卡在2。8K了。”
操作员汇报,“四级制冷机的功率到顶了。”
“热负载比预想的大。”
丁院士皱眉,“哪里漏热了?”
“查!”
经过排查,发现是信号线。
为了传输控制信号,几百根同轴电缆从室温环境穿入低温区。这些铜线,就像一根根导热管,把外面的热量源源不断地导了进来。
“拔掉铜线!”
林远下令。
“那怎么控制?”
“用光纤。”
“光纤主要成分是石英,导热率极低。”
“把所有的电信号,在入口处转成光信号。在低温区内,再转回电信号或者直接用光控器件。”
“全光互连!”
这是一个巨大的工程量。需要更换所有的接口电路。
但团队没有怨言。
三天后,改造完成。
再次降温。
2。8K……2。5K……2。1K……1。9K!
“成功了!”
系统进入了超导态。
所有的子系统就位。
电子枪发射->直线加速器加速->注入环形轨道->激光调制->辐射发光。
“点火。”
随着林远按下按钮。
屏幕上的光谱仪,瞬间跳起了一个尖锐的峰值。
波长:193nm深紫外。
功率:100W瓦。
“100瓦?!”
温彼得通过视频连线惊得从椅子上跳了起来。
传统的DUV光刻机光源,功率只有40W-60W。
EUV光源,拼了老命才做到250W。
而林远这台“原型机”
,第一次开机就干到了100W。
而且,这是连续波CW,不是脉冲波。稳定性极高。