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第727章 光刻机进度（第3页）

他开始不给自己找后路，直接就跟妻子说了自己接下来要将精力都放在研究上。

楚婕自然是没有不同意，并表示，要是提前回家，记得给她打个电话，她好给做饭炖汤。

“郭院士，以后我就常驻这里啦！叨扰您咯！”

蒋新松来到郭汝京的办公室，笑着说道。

“哈哈哈，新松呀，来，坐。”

郭汝京也是十分高兴的说道，“你来了好呀，咱们这，还有大量的子项目，需要你协调呢！”

显然，郭汝京对蒋新松的常驻很是欢迎。

“郭院士，咱们研究自己的光刻机，进展到哪些层面了？”

蒋新松开口询问道。

郭汝京起身，打开他办公室连着的会议室的门，说道：“来，你来看。”

随后，他打开了会议室里的大屏幕，上面的南永eRp工作流。

上面的思维导图密密麻麻的看得人眼花缭乱。

“新松，你来看，这是光刻机核心系统的思维导图，”

郭汝京开始介绍说道。

“这是光源系统，对于极紫外（euV）光刻机，需研高功率激光器，以每秒数万次的频率轰击液态锡滴，产生13。5nm波长的极紫外光。

并且需要对光源出的光束进行整形、均匀化、滤波和能量控制，确保光束质量。”

“光是这一项，就涉及高功率co?激光器、锡滴生器、收集镜、复杂的光学透镜组等模块的制造。”

“在这个子系统，我们尚且有三十多项待攻克的任务。”

郭汝京一路点开，越往下任务越细致，自然任务也就越多。

蒋新松看的眼花缭乱，不过作为工程设计，他也是看多了，只是很多子任务的方向不太熟悉，大致还是能理解。

他指着那些绿色的部分，询问道，“这些，是已经攻克的课题？”

“对的。”

郭汝京微微点头说道，“因为前些日子采购部拿回来的资料，里面有不少相关的技术。”

“另外，咱们初苗集团的科技中心那边，也有不少工程师提供了技术的支持，在光源电这一块，咱们剩下要解决的难题并是很多。”

“但后面的部分……”

郭汝京打开后面几个子模块，面露难色。