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第471章 晚霞行千里（第5页）

了。

“光栅尺。”

诸葛彪又拿起两根线，把光栅尺的两路正交信号，接到另外两个输入引脚上。

然后他坐回工装前，握住手轮。

“开环先跑一下。”

转动手轮，滑块上下滑动，读数头划过光栅尺，脉冲信号源源不断地送进芯片。

示波器上，除了时钟方波，又多出两路位置脉冲。

钱兰盯着数字表，那上面显示着芯片算出来的当前位置。

“4。237毫米……移动方向……正向……度……”

她念着数字，声音越来越小，像怕惊扰了什么。

诸葛彪继续转手轮，滑块走到顶端，又走回来。

数字表上的数字跟着变，从大到小，从小到大，每一步都跟得上，每一步都对得上。

“芯片把位置算对了。”

钱兰说。

吕辰盯着示波器看了几秒，然后说：“换闭环。”

诸葛彪拨动一个开关。

芯片的输出信号开始驱动电机。电机嗡嗡响起来，丝杠开始自动转动，滑块向上爬升。

吕辰在验证板上拨了一个数字：1o。ooo。

那是目标位置，单位毫米。

芯片程序里预设了这个目标。

电机继续转，读数头一路跟着，脉冲信号不断反馈回芯片。

数字表上的数字一路跳。

9。847……9。921……9。973……9。991……9。997……

越来越接近1o。ooo。

最后停在9。999毫米。

误差1微米。

三个人盯着那个数字，谁都没说话。

示波器上，波形还在跳，方波整整齐齐，一列一列，像士兵的脚步。

电机嗡嗡地响着，声音低沉稳定，像一头刚刚被驯服的野兽。

诸葛彪咽了口唾沫，烟叼在嘴角，半天没点。

“再试一次。”

他说，声音有点哑。

吕辰把目标改成25。ooo毫米。

电机又转起来，丝杠嗡嗡嗡，读数头一路向上，停在25。oo1毫米。

误差还是1微米。

钱兰轻轻吸了一口气：“精度够了，gca-2o1cgs光刻机工作台的要求，就是正负五微米，这远远达到了要求。”

吕辰又拨了一个数字，目标o。1毫米。

电机轻轻一抖，丝杠几乎看不出动，读数头微微挪了一点点。

数字表从25。oo1往下跳：25。oo1……24。998……24。995……