时间在忙碌中,很快进入了1965年末。
天已冷透,朔风呼号。
吕辰的办公室,炉子里的煤球烧得通红,但还是能感觉到从外面钻进来的寒气。
余热供暖项目的管线泄漏了一处,正在抢修,只能临时生火取暖。
吕辰坚持打开一扇窗户,这个办公室太封闭了,对于直接烧明火,心里还是有些忐忑。
究竟是香烟闷人,还是一氧化碳闷人?
他摇了摇头,有些不太确定。
又看了一眼火炉,吕辰继续趴在桌子上,手里拿着放大镜,正在检查刚从63o5厂送回来的版图底片。
四张醋酸纤维片基的底片,每张a4纸大小,边缘打着定位孔,中间是密密麻麻的电路图形。
63o5厂设计三室的赵组长带着十二个人,整整画了三个星期,才完成这第一版高频脉冲电机的控制芯片版图。
“总算回来了。”
诸葛彪凑过来,也举着放大镜,“让我看看这线条走得怎么样。”
钱兰递过来一张检查表:“赵组长附了一份自检报告,所有设计规则都过了,dRc没报错。”
“dRc?”
诸葛彪愣了一下。
“设计规则检查。”
钱兰看了他一眼,“就是检查线条宽度、间距这些符不符合工艺要求。”
诸葛彪点点头,继续看底片。
吕辰把四张底片依次摆在灯箱上,对着荧光灯管的光一张一张看过去。
电源总线,从芯片左侧贯穿到右侧,宽度设计得比信号线宽三倍,保证载流能力。
时钟分布网络,像一棵树一样从中心向四周散开,每个分支的长度经过精密计算,保证时钟信号同时到达每一个触器。
信号走线,横平竖直,该拐弯的地方拐45度角,不该拐的地方绝对不拐。
晶体管阵列,整整齐齐排成行,像等待检阅的士兵。
吕辰直起腰:“我没看出来有什么问题,咱们去中试线……”
诸葛彪拦住:“先别急,再对一遍逻辑。”
又等了三个多小时,才对完。
“初步行了。”
诸葛彪放下放大镜,“准备流片。”
吕辰三人带着底片,来到右翼后面的中试线车间,门口已经挂上了“集成电路中试线”
的牌子。
在洁净区,换了洁净服、戴上口罩帽子。
进入实验区,看着中试线简陋的场景和设备,吕辰心里有些感慨。
当初,他们在这里打七只老虎,为63o5厂的产线建设定下了最终的方案。
如今这里成了集成电路实验室自己的实验线。
但这里才是真正的“摇篮”
,所有的新芯片,都是先在这里试制成功,才会把工艺文件交到63o5厂去批量生产。
三人找到柳工,他是中试线的负责人,也是光刻环节的大师傅,说话慢条斯理,但手上功夫极稳。