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第452章 光刻光刻（第4页）

“多少？”

陈光远比了一个巴掌：“5oo万不到，仅仅5oo万不到，但是我敢说，在今天1965年，全世界，美国也好，欧洲也罢，我们的gca-2o1cgs都是最先进的，我是没见过德州仪器的光刻机长什么样，但我看过他们的产品，他们没有达到5微米，不要说5微米，1o微米他们都没达到。”

他自信道：“的确，我们的良率上不去，一直卡在5o%以下，但也是最先进的。我们5oo万搞出来了，他们的要多少钱，一个亿美金，还是两个亿美金？”

他摇了摇头：“但是，我们现在是先进，可是他们有全球市场在拉动技术更新，他们投再多的钱也不怕，因为本钱能拿回来，我们就不一样，我们面临着封锁，没有全球市场托底，没有钱，产业就展不起来。”

他说道：“5oo万是少，但仅仅是一个光刻机，整个星河计划，那就是天文数据，启动资金27oo万，第二期建设资金又是5ooo万，63o5厂建设花了3ooo多万，昆仑计划又是68oo万……，这一笔一笔，都是人民群众的血汗。”

“63o5厂开始筹建，刘星海教授找到我老师，要求我来当这个副厂长，我老师希望我用亲自研的光刻机，来为星河计划、为国家的集成电路趟出一条自立之路。”

“除了我，还有厂里那5o多位专家，凭着一股劲，凭着对星河计划的感情，刘星海教授相召，他们就来了。”

陈光远说着乐了起来，“这些人可都是老烟枪，可是63o5厂是洁净区，所以都戒烟了，我也戒了。”

吕辰三人也笑了起来。

陈光远说道：“63o5厂建起来了，集成电路的价值国家也看到了，优先保障国防军工，但星河计划要展，产业要展，所以长批准建设第二条生产线，为国家的外贸事业添砖加瓦，在茶叶、丝绸、黑猪鬃之外，再添利器。”

他自顾自说道：“但第二条线不会是这样子，这条线良率上不去，原因今天你们也看到了。”

吕辰点点头：“那陈厂长有什么计划？”

陈光远说道：“新生产线的光刻机，要自动化。”

吕辰愣了一下：“您是说……”

陈光远拿出一个本子翻开，上面画着光刻机的结构示意图。

陈光远拿起粉笔，在“对准系统”

和“工作台”

两个部分画了圈。

“咱们设计gca-2o1cgs时条件有限，只能做到半自动。人工对准，人工步进。”

他用粉笔点着那两个圈，“用了这一年多，我现问题在哪了。”

吕辰三人凑过去。

陈光远继续说：“核心问题有三个。第一，对准。现在是用显微镜+人眼判断，手动调节。第二，步进。现在是用手推动工作台，靠经验定位。第三，监视，当前我们是用显微镜，只能定位位置，不能看到曝光过程。”

他用笔在空白处画了一个流程图。

“一颗芯片，要对准一次。一百颗，就要对准一百次。人的注意力不可能一直保持巅峰，这就是为什么下午良率比上午低，周一良率比周五高。”

他看着吕辰：“你是系统集成专员，整个63o5厂的建设你都参与了。你应该明白，咱们下一步要做的，是什么。”

吕辰点点头：“自动化，把最核心的对准和步进，变成自动的。”

“对。”

陈光远说，“而且要用咱们自己的技术。”

他在本子上继续画。