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第452章 光刻光刻（第2页）

这这是晶圆，已经涂好光刻胶的晶圆。

刘高工把晶圆放在工作台上。

他转过身，又拿起另一块东西，那是一块方形的玻璃板，上面刻着密密麻麻的图案。

陈光远在边上解释：“这是掩模版。hk-o2a一共四层，今天先做第一层。”

刘高工把掩模版装进机器上方的一个卡槽里，固定好。

然后他走到工作台前，眼睛凑到显微镜筒上，开始调整。

微型电机缓缓启动，推动着工作台慢慢前进。

到达某个位置停下，刘高工轻轻转动几个旋钮，眼睛一刻不离显微镜。

“这是在对准。”

陈光远低声解释，“把掩模版上的图案，和晶圆上的对准标记对齐。这个步骤最关键，也最费神。”

刘高工调整了足足五分钟，然后长长地吐了一口气。

“行了。”

他直起腰，按下一个按钮。

机器出一声轻微的“嗡”

响，一道蓝光闪过，很快又熄灭。

“曝光完成。”

刘高工说。

钱兰愣了一下：“这么快？”

刘高工笑了：“曝光就一两秒。麻烦的是前面的对准。”

他松开工作台的锁定，用手轻轻推动一个手柄，工作台缓缓移动了一小段距离。

然后他又低下头，凑到显微镜筒上，又开始调整。

“这是下一个芯片的位置。”

陈光远解释，“一块晶圆上，要做上百颗芯片。每做完一颗，就要移动到下一个位置，重新对准，重新曝光。”

吕辰看着刘高工，心里忽然明白了很多事。

刘高工的动作很熟练，但也很慢。

每一次对准，都要花好几分钟。

每做完一颗，他都要直起腰，活动一下脖子，然后再低下头。

一颗，两颗，三颗……

半小时过去，才做了十几颗。

吕辰凑到胡教授身边，看着监视器。

监视器的图像显示的是对位标记，每一次对准，都是一个从模糊到清晰的过程。

胡教授道：“一块晶圆上百次对准，一对就是几小时，非常考验意志力。”

周工道：“人的注意力，不可能一直保持巅峰状态。”

王工道：“这个环节对良率影响太大，我们统计过，下午的良率比上午低，周一的良率比周五高，疲劳积累是主要因素。”

郑长枫点头：“连续几十次对准之后，手会抖，眼睛会花，脑子会累。哪怕是最熟练的操作员，也会有失误的时候。”

吕辰问道：“一般的操作员，一天能做多少片？”

胡教授道：“一般的操作员，两片、最多三片，刘高工手稳，能做四到五片，而且保证良率，不同的人效率和良率都不一样，经验、体力、耐心等是主要因素。”