荧光屏上,出现了墙角的轮廓。
有些模糊,但的确存在。
方教授盯着那荧光屏,愣住了:“这……这是……”
吕辰深吸一口气,转过头,看着诸葛彪和钱兰。
诸葛彪的眼睛瞪得滚圆,嘴巴张着,半天说不出话来。
钱兰盯着那荧光屏,声音有些抖:“方教授,您这个东西……它能看见黑夜……”
方教授还没反应过来,还在说:“看这些没什么用,我们要看的是曝光台。光刻机的曝光环境温度太恒定,连红外光都非常少。所以去看曝光台,只能看见雪花。我这回算是闭门造车了,从开始就没考虑好曝光环境,浪费了国家的资源……”
吕辰打断他:“方教授,您这东西,不是‘曝光场景观察器’。”
方教授愣住了:“那是什么?”
吕辰看着他,一字一句地说:“这是夜视仪。”
方教授呆住了。
吕辰指着窗外:“您刚才看见了,对着黑夜,能看见墙角的轮廓。因为黑夜不是绝对的黑,总有一些微光,总有一些红外辐射。您的增强管,把这些微光放大了几万倍,就能让人眼看见了。”
他又指着那台机器:“您解决了光信号的放大问题,造出了一个能把光转成电的器件,一个能把电子放大的倍增器,又用荧光屏把电转回光。这不是什么失败的设计,这是真正的国之重器。”
方教授愣在那里,半天没动。
诸葛彪在旁边插了一句:“方教授,您这个,是真的国之重器。有了它,咱们的战士就能在黑夜里战斗。夜间战斗,可是我军的传统强项。有了这个,简直就是如虎添翼。”
钱兰也说:“应该立即上报四机部。”
方教授张了张嘴,声音有些沙哑:“可是……曝光场景怎么办?”
吕辰道:“方教授,曝光场景好解决,咱们换个思路,去掉玻璃丝,直接在光刻机内部,紧邻曝光工位的地方,安装一个微型的光电阴极。”
他一边说,一边用手比划着:“曝光瞬间,掩模版上的图案通过投影物镜成像在硅片上。同时,这个相同的紫外光信号,可以通过加装一个半透半反镜,分出一小部分,投射到光电阴极上。这样不影响主曝光光路。”
“光电阴极将紫外图像转换成电子图像,电子进入微通道板倍增,最后轰击荧光屏,就能重现出肉眼可见的曝光瞬间图像。”
他顿了顿:“这个方案的优点,是无干扰,只取用极小一部分光信号,不影响主曝光光路。没有玻璃丝传像的延迟和畸变,直接成像,图像质量更高。而且,可以在荧光屏后面加装相机,记录下每一批晶圆的曝光过程,形成质量追溯档案。”
方教授听着,眼睛越来越亮。
……
不一会儿,听到消息的刘星海教授走了进来,身后还跟着国防科委驻红星所的代表,以及惊雷项目组的炮弹院领导。
“方教授,听说您这边出了个新东西?”
国防科委的代表开门见山。
方教授愣了一下,看向吕辰。
方教授又演示了一遍。
玻璃丝对着墙角,荧光屏上是墙角的轮廓。
玻璃丝对着窗外,图像清晰。