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第421章 电镜关卡（第5页）

他调节了一下旋钮，屏幕上，绿光里跳动的全是噪声毛刺。

一秒、两秒、三秒。

在毛刺的间隙里，一个模糊的轮廓慢慢浮现出来。

像月亮表面的环形山。

边缘是虚的，中间有亮斑，亮斑周围还有一圈一圈的干涉纹。

那不是样品的结构，是噪声和信号的搏斗。

放大倍数，大约5oo倍。

设计指标，1ooo倍。

实际可用，5oo倍。

极限分辨率，乐观估计5oo埃。

而63o5厂光刻机需要的检测能力，是1oo埃以下。

陈光远没有说话。

他盯着屏幕上那个模糊的轮廓，看了很久。

宋颜教授站在他身侧，也没有说话。

吕辰站在人群最后面，靠着门框。

他看见文昭南教授的手。

那只手扶着镜筒的调节旋钮，骨节粗大，皮肤上全是烫伤的旧疤。

但那只手很稳。

稳得像在扶着自己孩子的肩膀。

文昭南教授缓缓开口：“陈厂长，各位专家。”

他顿了顿，像是斟酌了很久。

“这台样机，是我们能交出来的、目前最好的答卷。”

他的声音很平，没有辩解，没有诉苦，也没有推卸责任。

“它还有很多问题。电子枪不稳定，透镜剩磁消不掉，探测器信噪比太低，扫描度调不了，真空度勉强及格，样品台会点头，图像会漂移。”

他慢慢放下扶着镜筒的手，抬起头，望着陈光远，望着宋颜，望着会诊组十六个人。

“但是，陈厂长，我想请你们相信，这条路，是走得通的。”

“我们已经看见了。虽然看得不清楚，虽然看得不稳定，虽然看一会儿就要歇一会儿。”

“但是，我们看见了。”

他的声音很轻，像在说一件微不足道的小事。

房间里安静了很久。

没有人说话。

示波器的风扇还在嗡嗡响。

屏幕上的环形山轮廓还在跳动，模糊，顽强，像一颗在风中摇曳却始终没有熄灭的火苗。

吕辰走到文昭南教授面前：“文教授，这不是失败品。这是曙光亮起之前，最暗的那几分钟。是星河计划为后来人撑起的、通向微观世界的第一个台阶。”

他顿了顿：“以后中国所有的芯片、所有的电镜、所有的纳米尺度工艺，都会记得今天，北京真空所这间旧实验室里，有台5oo倍还抖动的样机。”

“它是先遣队的脚印。”

文昭南教授没有说话，吴教授、林教授、李总工、顾赟也没说话。

钱兰的眼眶都红了。