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第393章 从破烂中建立秩序（第5页）

那一周，车间里的灯每晚都亮到深夜。

机修车间的老师傅们展现了惊人的创造力，没有标准的橡胶减振垫，就用报废卡车轮胎切割改造；没有软连接专用件，就用帆布风管中间夹钢丝圈自制；消声器买不到，就用穿孔板加玻璃棉现做。

吕辰、谢凯、吴国华等人跟着老师傅们打下手，扛材料、递工具、清理现场。

手掌磨出了水泡，工装沾满油污，但没人离开。

第七天晚上十点，减振改造完成。

空调机组再次启动。

这一次，把水杯放在光刻机平台上，水面平静如镜。

老周透过显微镜观察硅片上的对准标记，良久，抬起头，露出笑容：“成了！振动控制在允许范围内！”

车间里响起一阵疲惫但由衷的欢呼。

随着安装调试的深入，各种“跨界”

冲突层出不穷。

化学安全实操区需要大量通风，但为了保持准洁净区的正压，希望尽可能减少换气次数。

“这是安全与洁净的矛盾，”

化工专家在协调会上直言，“存放化学品的区域，必须保证足够的通风换气次数，否则一旦泄漏，后果不堪设想。”

“但过多的新风会影响洁净区的温湿度和颗粒物浓度。”

双方争执不下。

最终决定，把化学安全实操区移到准洁净区的下风向，并用实体墙完全隔开。

两个区域各自独立送排风，互不干扰。

化学区保持高换气次数，洁净区保持正压和低换气次数。

这个方案让风管布置的复杂度直线上升。

但再复杂也要做，在安全面前，其他都要让步。

建筑团队连夜修改图纸，增加了隔离墙和独立的风管系统。

另一个冲突生在设备操作流程上。

老周坚持光刻操作必须严格按照“手感”

来，对焦时先粗调、再微调，转动旋钮要“轻、慢、匀”

；曝光时间要凭经验估算，因为这光刻机没有定时器。

但谢凯希望把一切“数据化”

，对焦应该用千分表测量距离，曝光时间应该用秒表精确控制。

“你那套太死板！”

老周不满，“芯片生产是手艺活！手感！感觉！这些数据教不出来！”

“但手感无法复制、无法传承！”

谢凯耐心解释，“今天您手感好，对准了；明天换个人，可能就偏了。必须建立标准的操作流程和参数！”

这个问题，最终吵到现场会上。

经过半天争论，吕辰建议把操作分成三个层次。

第一层是规范动作，比如拿硅片必须用真空吸笔，不能用手直接碰；放置硅片必须先对基准边。

这些是铁律，必须严格遵守。

第二层是参数范围，比如对焦距离应该在x±o。o1毫米范围内，曝光时间应该在y±5秒范围内。

这些是科学，是可测量的。

第三层才是经验微调，在参数范围内，根据当天的温度、湿度、光刻胶批次等具体条件，做细微调整。

这需要经验，但经验是在前两层基础上积累的。

最终，宋颜教授拍板定调。

他看向双方：“周师傅，您能不能把您的手感，分解成规范动作和参数范围？比如您说的‘轻、慢、匀’，能不能量化？‘轻’是多大的扭矩？‘慢’是多长时间转一圈？”