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第301章 试剂厂的零点几个九（第2页）

旁边的工具架上，堆着一小筐更换下来的阀芯，个个被腐蚀得面目全非，有的甚至出现了蜂窝状的穿孔。

“看到问题了？”

李科长顺着吕辰的目光，苦笑道，“氢氟酸，特别是高温高浓度的氢氟酸，是‘什么都吃’的。不锈钢？几个月就穿孔。特种合金？贵得吓人，也只能撑一两年。这些阀门、泵、管道，每时每刻都在被腐蚀，腐蚀下来的金属离子就直接污染了试剂。”

他拿起一个报废的阀芯，表面布满了麻点：“就这个小小的阀芯，用的是含钼镍基合金，一个就要上百元。这条生产线每年光更换阀门配件就要花几万元，这还是次要的。关键是腐蚀产物污染试剂，让我们的产品纯度卡在ppb级，很难再往上突破。”

谢凯用笔记本快速记录着，同时问道：“不能用塑料或陶瓷吗？”

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“塑料耐腐蚀，但强度不够，高温下易变形，而且可能析出有机杂质。陶瓷……”

李科长顿了顿，“氧化铝陶瓷我们试过，氢氟酸专吃铝元素，不行。其他陶瓷要么太脆，要么加工难度大，一直没有找到合适的。”

参观继续，来到分析检测中心，这里是全厂最洁净的区域，进入前需要换防尘服、经过风淋室。

实验室内，技术人员正在操作各种仪器，原子吸收光谱、电感耦合等离子体质谱、气相色谱、颗粒计数器……，每一个数据都被认真记录在案。

这里的许多工具都是一次性的，不锈钢长柄勺只用来取一次样，小型储罐用完即弃，连石英烧杯也是限定使用次数后就要报废。

“没办法。”

李科长解释道，“高纯试剂的检测，本身就是最容易被污染的环节。工具重复使用，哪怕清洗得再干净，也可能有残留。我们也想让所有接触最终产品的工具，都是一次性使用。但这成本太高了，只能折中，限定使用次数，严格清洗流程。”

李科长补充道：“这还只是检测环节。到了实际使用环节，芯片制造厂需要将试剂从储罐输送到工艺设备，中间要经过几十米甚至上百米的管道、十几个阀门、多个过滤器……，每一个接口、每一个弯头、每一个垫片，都可能成为污染源。”

参观结束，回到会议室时，三人的心情都有些沉重。

技术难度比想象中更大，这不仅仅是配方和工艺问题，而是整个材料、设备、工程体系的系统性问题。

“现在你们明白我们的痛点了。”

李科长给大家倒上茶，语气诚恳，“按‘星河计划’的要求提供样品，我们能做到。实验室精心制备，用最干净的容器封装，ppt级的纯度可以挑战。但要说连续化、大规模稳定生产，保证每一批、每一瓶都达到这个标准……”

他摇摇头：“设备材质、管道阀门、甚至一个聚四氟乙烯垫片的老化，都会成为最后那‘零点几个9’的拦路虎。”

会议室陷入了短暂的沉默。

窗外传来试剂厂特有的轻微泵机声，远处铁路上火车驶过的

过了一会儿，吕辰忽然开口：“李科长，您刚才提到陶瓷……，贵厂有没有试过氮化硅或者氧化锆陶瓷？”

李科长愣了一下：“氮化硅？氧化锆？听说过，但国内很少有厂家生产，特别是能加工成复杂形状的。怎么，你们有门路？”

宋颜教授和谢凯对视一眼，眼中都露出了光芒。

“我们红星所有一个工业陶瓷和冶金材料研究中心。”

吕辰坐直身体，语气变得兴奋起来，“正在系统研究氮化硅、碳化硅、氧化锆等一系列高性能工程陶瓷。其中氮化硅陶瓷，硬度高、耐磨、耐高温，更重要的是，它对大多数酸碱，包括氢氟酸，都有极好的耐腐蚀性！”

李科长猛地站起身：“你说的是真的？氮化硅耐氢氟酸？”

“千真万确。”

吕辰从公文包里拿出几份资料，“这是我们的实验数据。氮化硅在40%氢氟酸、80°C条件下浸泡1000小时，腐蚀速率小于0。01毫米每年。氧化锆的表现同样出色。”

李科长几乎是抢过资料，迅速翻阅起来。

他的手指微微颤抖，眼镜后的眼睛睁得老大。

“这，这如果属实，简直是革命性的！”

他抬起头，声音激动，“氢氟酸腐蚀是我们高纯试剂生产最大的痛点！如果阀门、泵体、管道能用这种陶瓷制造，污染问题就解决了一大半！”

宋颜教授适时提出了合作请求：“李科长，我们可不可以提供一批氮化硅、氧化锆陶瓷的小型样件，如阀芯、管道接头、勺具、烧杯等，给你们试用。在实际生产环境中测试一下它们的耐腐蚀性能、对试剂纯度的影响。如果效果理想，我们可以进一步合作，研发定制化的陶瓷化工设备。”

“好！太好了！”

李科长连连点头，“我们立即安排试用！不过，光我们试剂厂用还不够。”