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第291章 强大的真空所（第3页）

刘师傅接通加热电源，缠绕在石墨坩埚上的电阻丝开始泛红，温度逐渐升高。

测温靠的是插入坩埚侧壁的一根老旧热电偶，连接的毫伏表指针缓缓偏转。

“温度控制是个大难题。”

顾赟苦笑道，“加热丝是我们自己绕的，温场不均匀；热电偶的精度有限；控温电路就是简单的调压器。能控制在±10°C以内，就算成功了。”

吕辰看着墙上的温度曲线图，那上面用不同颜色的铅笔标注着多次实验的数据，曲线起伏如心电图。

每一次成功的沉积，背后都是数十次失败的摸索。

温度稳定后，真正的“魔法”

开始了。

刘师傅缓慢地打开两个钢瓶阀门，一个是氨气，一个是氯硅烷，也就是SiH?与Cl?的混合物。

气体通过手工打磨的针阀，进入管道。

没有质量流量控制器，没有比例阀。

流量控制，靠的是观察玻璃转子流量计里那个小浮子的位置。

浮子在玻璃管中上下浮动，刘师傅要根据浮子的高度，“估算”

出气体的流量比例。

“氨气……大概每分钟150毫升。”

他低声自语，手指微调阀门，“氯硅烷……30毫升。比例5:1。”

他的眼睛紧紧盯着两个流量计，整个实验室鸦雀无声，只有真空泵的低鸣和电流流过加热丝的轻微嗡嗡声。

气体进入钟罩，在高温的基片表面发生化学反应。

微观世界里，氨气与氯硅烷分子分解、重组，氮原子与硅原子结合，生成氮化硅，一层原子一层原子地“生长”

在玻璃表面。

这个过程肉眼看不见，但刘师傅仿佛能“感觉”

到。

他不时调节冷却水的流速，那根滴水的橡胶管连着铁桶里的水泵，水流快慢会影响钟罩内的温度分布。

他还不时用改锥轻敲某段管道，这是靠听声音来判断气流是否顺畅。

他嘴里念念有词，像是在进行某种仪式：“这回的‘火候’差不多了……左边温度好像高了点……”

整整四十分钟，沉积过程在一种高度紧张而又充满艺术感的氛围中进行。

终于，他关闭了气体阀门，停止加热，让系统自然冷却。

又过了二十分钟，他才小心翼翼地打开放气阀，让空气缓缓进入钟罩。

气压平衡后，他松开密封夹具，用液压装置缓缓升起玻璃钟罩。

钟罩内的景象展现在众人面前。

样品架上，那几片玻璃基片看上去依然透明。

但若对着灯光仔细观察，能看到表面覆盖着一层极薄的、略带虹彩的薄膜，像肥皂泡的色彩，又像雨后的油膜。

“成功了。”

刘师傅长舒一口气，脸上露出一丝疲惫的笑容，额头上沁出了细密的汗珠。

他用特制镊子取出基片，放在铺着软布的木托盘里，端到旁边的工作台上。

接下来是检测，又是一系列“土法上马”

的智慧。

膜厚测量用的是自制的椭圆偏振仪原型。