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第281章 光学圣地（第4页）

宋颜教授问。

“很大。”

赵工说，“精密设备对电源质量极其敏感。电压波动会导致光源输出不稳定，曝光不均匀。频率漂移会影响同步电机转速，进而影响工作台定位。更别说突发的电压尖峰，可能直接烧毁控制电路。”

“所里没有稳压设备？”

“有，但老了，响应速度慢。”

赵工叹气，“而且整个所共用一台大稳压器，不同设备互相干扰。我建议每台精密设备配独立稳压电源，但成本太高，所里还在考虑。”

旁边工作台上，几个年轻技术员正在组装蜗轮蜗杆传动部件。

蜗轮齿面光滑如镜，蜗杆闪闪发亮。

他们用汽油仔细清洗每一个零件，在放大镜下装配。

“间隙要调到2微米以内。”

一个技术员低声说，“太紧会卡死，太松回程误差大。”

“温度补偿算了吗？”

同伴问。

“算了，按20度基准做的。实际运行会发热，留了0。5微米膨胀余量。”

吕辰听着，心里点头。

这些考虑已触及精密机械的核心，不仅要静态精度，还要考虑动态运行中的温度、振动、磨损。

终于，他们来到此行的核心目标，第一代光刻机原型所在的实验室。

实验室保密等级更高，进入前要登记，交出笔记本，穿上白大褂和鞋套。

警戒线内，那台“大家伙”

静静矗立。

它比想象中更大，整体像巨大的铁柜，长约两米，宽一米五，高约一人半。

暗灰色钢板外壳上有不少接线孔和观察窗。

机器上方伸出粗黑的电缆，连接墙上的配电柜。

旁边还有水冷机，水管蜿蜒连接到机器内部。

透过正面的厚玻璃观察窗，能看到内部结构：圆形的工作台，上方悬吊的镜筒，侧面的光源痕迹。

“整体结构半封闭。”

陈光远介绍，“内部需保持洁净。操作时，把涂有感光胶的玻璃基板放工作台上，关门，抽真空或充氮气，然后曝光。”

张工拿来一块玻璃片放在显微镜下：“这是曝光测试结果。”

吕辰凑到目镜前。视野里是密密麻麻的线条图案，线宽约5微米。但线条边缘不直，有微小波浪起伏；宽度不均匀；有些地方线条断了。

“5微米线宽测试图形。”

张工说，“问题很多：线条边缘粗糙，宽度波动超30%；局部断线；不同区域线条宽度差异——曝光不均匀导致的。”

王工指着另一块玻璃片：“这是两次曝光的结果，先刻水平线，再刻竖直线，理论上应形成完美网格。但你们看。”

吕辰再看，水平线和竖直线交叉形成网格，但交叉点不对齐，有的偏移，有的完全错开，网格歪歪扭扭。

“平均偏移3微米，最大8微米。”

王工叹气，“这个误差对集成电路是致命的。”

陈光远总结：“工作台定位重复精度不够；温度变化导致热胀冷缩；振动干扰……很多问题理论上知道解决方案，但实际做起来，要材料、要工艺、要设备，更要时间和经验。”

实验室安静下来，只有原型机内部隐约的风扇声和水冷机运行声。

这是中国第一代光刻机雏形，粗糙、不稳定、精度有限，但它代表一种方向，一种从无到有的突破。

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