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第1012章 3亿美币一台阿斯麦重新上市青春永驻的诱惑（第3页）

陈延森听著，没什么表情。

这些数据他在车上就看过了，莫斯每天都会把各子公司的运营日报推送到他的手机上。

他来这里，不是听汇报的，于是直接打断了梁劲松：「说说a3x的情况吧。」

破晓a3x，是星源科技研的一款高数值孔径euV光刻机，设计波长13。5纳米不变，但数值孔径从a22o的o。33提升到o。55。

梁劲松听后，不慌不忙地翻过几页ppT，投影上跳出一张全新的技术架构图，中央赫然标注著「破晓a3xhigh—naeuV」几个大字。

「老板，a3x的量产验证已完成，第一批的六台量产机在上周全部下线，随时可以投入使用。

其中三台做好了出厂检测，剩下三台正在进行最后的光学系统微调，预计本周五之前也能全部就绪。」

梁劲松语气沉稳，条理清晰地答道。

新品布会定在九月五日，也就是下周二。

场地、媒体邀请、客户名单均已确认完毕，连新闻通稿的初稿都已完成，前期筹备工作基本就绪也是很正常的事。

陈延森微微颔，示意梁劲松继续汇报。

梁劲松用雷射笔圈住架构图左侧的模块，开始介绍核心参数：「a3x搭载的是第四代锡靶等离子体光源，输出功率达到8oo瓦，是a22o光源功率的三倍以上。

量产机实测数据比工程样机还要稳定，连续运行九十六小时，功率波动控制在正负零点二五个百分点以内。」

8oo瓦，稳定运行九十六小时，波动不过千分之二点五。

这已经不是领先一代的问题了！

等破晓a3x光刻机的核心参数公布后，欧美地区的光刻机研机构，怕是当场就会放弃追赶的想法。

梁劲松继续往下说，雷射笔移到了架构图的投影物镜模组区域：「数值孔径o。55，这是a3x最核心的技术指标。

采用了8x变形投影光学系统，物镜组中引入了非球面加自由曲面混合透镜阵列，一共十七片光学元件，其中六片是自由曲面镜，面型精度做到了3o皮米Rms以下。」

一个皮米是一万亿分之一米。

这意味著，十七片镜片中每一片的表面起伏，都不过大约三分之一个原子的直径。

梁劲松翻到新的一页ppT，上面是一张柱状图，横轴是时间，纵轴是每小时晶圆处理量。

「a3x的量产吞吐量是每小时38o片12英寸晶圆，这个数字是六台量产机的平均值，最高的一台跑到了每小时411片。」

a3x的产能，相比a22o足足提升了近一倍。

而它更强大的优势在于，单次曝光即可支持1纳米晶片的生产。

「老板，售价需要您来拍板。」

一口气介绍完a3x的全部参数后，梁劲松笑著提议道。

「破晓a22o卖8ooo万美币，那a3x至少也要翻一倍，加上工艺优势，定2。4亿美币吧。

「」

陈延森慢条斯理地说道。

当然，2。4亿美币仅仅是裸机价格，厂房euV专用改造、电力和冷却系统、真空与防污染系统、安装调试和维保合同所需的费用还没算进去。

否则，最低也要3亿美币！

说完，陈延森缓缓起身，冲著梁劲松说：「去预装测试车间看看。」

毕竟破晓a3x的研工作，他全程都没怎么参与，全靠之前的研团队。

技术文档没问题，就怕制造环节出纰漏。

一行人出了会议室，直奔euV光刻机的专用洁净室而去。

另一边。

港岛、澳岛的级富豪，在得知TLn—o2衡端素的存在后，纷纷托人打听，想弄清它的真实效果。

其中反应最快的，是澳岛的河家，连夜备上厚礼，以登门拜访的名义，直飞庐州。

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