euV,极紫外光。
“euV光源,现在全世界都停留在理论阶段。”
钱院士说,声音有些干涩。“等离子体光源还是激光辅助光源,路线都没确定。”
“那就两条路都走。”
张红旗说得斩钉截铁。
“成立两个预研小组,同时攻关。”
“我不管你们用什么方法,需要什么人,要多少钱。”
“我要在五年内,看到我们自己的euV实验光源,被点亮。”
五年。
钱院士倒吸一口气。
这已经不是弯道车了,这是想直接飞过去。
“红旗同志,这……”
“钱老。”
张红旗打断他,“我知道这不合常理。”
“但我们没有时间,按部就班地走了。”
“别人走了三十年,我们必须把这三十年,压缩在五年,十年里追回来。”
他看着钱院士和尤里。
“技术上,你们是专家。”
“钱和人,我来解决。”
“我已经被任命为‘一号工程’的副组长,负责所有资源协调。”
“你们只需要告诉我,需要什么。”
副组长。
钱院士和尤里都愣住了。
他们知道这个工程级别高,但没想到高到这个地步。
张红旗这个副组长,虽然挂在李波书记之下,但谁都知道,他才是这个庞大工程实际上的总指挥。
“除了光刻机。”
张红旗又说。
“芯片设计软件eda,高纯度大尺寸硅片,光刻胶。”